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WinWinTec 主页  >  产品  >  白光干涉三维轮廓仪

 
     

 

   
   

SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪

SmartWLI系列产品包括三款性价比超高的白光干涉三维轮廓仪 (SmartWLI-Prime标准型, SmartWLI-Extended扩展型和 SmartWLI-Dual Z-axis双Z轴型) 和一项基于用户现有显微镜的改型方案-
SmartWLI显微镜升级技术。
SmartWLI系列产品两大竞争优势 - 超高的性价比、超快的数据算法(测速快)。

 

白光干涉三维轮廓测量技术优势:

- 非接触

- 纳米级精度

- 测量时间短

- 性能可靠

 

白光干涉,作为一种广泛应用的三维表面形貌测量技术,其纵向分辨率可达到亚纳米级别。
视场内信息采集与数据处理同时进行,大面积区域的高度信息采集时间短。
多用于科学研究与质量管理领域,典型应用包括不同表面粗糙度样品的三维表面形貌测量(如晶片结构、镜面、玻璃与金属)、台阶高度测定和曲面精度测量(如微型透镜)。
SmartWLI系列白光干涉三维轮廓仪创新性地整合白光干涉技术,自主研发的SmartWLI 软件可以对整个测量过程进行监测与控制。
其核心算法基于GBS长期研发与测量经验,具备高效、稳定、精度高等特点。

 

我们提供下列型号设备:

- SmartWLI-Prime标准型 (结构紧凑、性价比高)

- SmartWLI-Extended扩展型(具备自动拼接功能)

- SmartWLI-Dual Z-axis双Z轴型(测量范围更广,涵盖微纳尺寸到毫米尺寸)

- SmartWLI-Microscope显微镜升级技术 (升级用户现有二维显微镜为三维表面形貌测量设备)

 

 



     

技术参数:

干涉物镜放大倍率:

2.5倍 - 100倍

纵向量程:

400 μm

光源:

LED

XY轴样品台:

自动(SmartWLI-扩展型)
或手动(SmartLWI-标准型)

CCD图像传感器:

GigE接口

最大纵向分辨率:

0.1 nm

最大横向分辨率:

520 nm

   

 

SmartWLI系列产品均配备的高效、多功能的MountainsMap® 形貌分析软件,用户可根据软件内置的多种分析模版,生成测量报告。

倾斜台选件,用于调整和拉平干涉条纹。

 

应用领域:

- 表面形貌和粗糙度测定

- 2D显微镜升级为3D显微镜

- 曲面精度测量

   

 

 

  更多信息:  www.gbs-ilmenau.de

 
   
           
 
 
 
 

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