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WinWinTec 主页  >  产品  >  SmartWLI-prime双Z轴三维形貌轮廓仪

 
     

 

   
   

2015年11月, 德国WinWinTec公司再次向市场推出了一款由我公司代理的SmartWLI品牌的三维相貌轮廓仪,该产品整合了两种Z轴方向的移动模式在一起,可以实现两种Z轴移动模式的自由切换,便于测量不同样品和实现不同的测量精度,使该仪器的适用范围更加广阔。


产品特点

1.两种Z轴的移动控制模式,Piezo压电陶瓷马达控制小量程和步进电机控制大量程,整体测量范围实现从0.1nm~100mm;

2.高精度Piezo控制的Z轴能实现400µm的测量范围,测量分辨率在PSI模式下能到0.1nm;

3.步进电机控制的Z轴大量程能实现100mm的测量范围,测量分辨率小于100nm;

4.Z轴方向移动的实现自动控制,通过相关软件和控制手柄可自动对焦,同时Z轴可实现自动拼接技术,整体达到自动测量的效果;

5.标配高精度Piezo控制的Z轴测量头,样品垂直方向测量最大高度:400µm,测量分辨率PSI模式:0.1nm,VSI模式:1nm;

6.可选配不同放大倍数的标准干涉物镜(2.5X,5X,10X, 20X,50X,100X);

7.配置控制和快速采集信号采集软件 SmartWLI_VIS。


产品测量结果图像

 


   

 

   

  

   

  更多信息:  www.gbs-ilmenau.de

 
   
 
 
 
 

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