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3D-Weißlichtinterferometrie
Wir liefern zwei ökonomisch interessante Messgeräte
des Typs smartWLI-prime und smartWLI-extended sowie ein Aufbaumodul
für konventionelle Mikroskope (smartWLI-microscope).
Die Vorteile dieser Geräte liegen in ihrem interessanten
Preis in Verbindung mit dem extrem schnellen Kalkulationsalgorithmus.
Allgemeine Eigenschaften:
- Berührungslos
- Nanometergenau
- Schnell
- Zuverlässig
Die Weißlichtinterferometrie gehört zu den bewährten
optischen Messverfahren für die Erfassung von 3D-Topografien mit
Tiefenauflösungen im unteren Nanometerbereich. Aufgrund der parallelen
Erfassung und Verarbeitung der Messpunkte können Höheninformationen
großflächig und in sehr kurzer Zeit gewonnen werden. Typische
Einsatzfelder in der Qualitätssicherung und in der Forschung sind
die Charakterisierung von Oberflächen verschiedener Rauheit (Waferstrukturen,
Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die
präzise Messung von gekrümmten Oberflächen, wie z.B. Mikrolinsen.
Mit der Produktfamilie smartWLI bieten wir innovative Lösungen
zur Anwendung dieses Messprinzips. Zur Steuerung und Auswertung
des gesamten Messprozesses wird die bewährte smartWLI-Software
eingesetzt. Die darin enthaltenen effizienten, robusten und hochgenauen
Auswertealgorithmen sind das Ergebnis umfangreicher Forschungstätigkeit
und Erfahrung auf diesem Gebiet.
Folgende Modelle werden angeboten:
- smartWLI-prime (kostengünstig, kompakt)
- smartWLI-extended (mit automatischem Stitching)
- smartWLI-microscope (Aufrüstung bestehender Mikroskope
auf WLI)
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